经营范围:CAST ALUMINUM循环加热器
所在地区:上海
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CAST ALUMINUM 循环加热器PUR-X 1000系列 应用: 半导体晶圆清洗(湿式工作台)工艺 光刻胶去除溶剂的加热 用于晶圆冲洗的去离子水加热 用于晶圆干燥的空气和氮气加热 加热酸、IPA、Piranha、NMP 等。 与单程或再循环系统*起使用 特点与优势: 流路与加热元件无接触 介质在 PFA (Teflon) 流量管(高纯度加热)中隔离 允许安全加热危险液体和气体 流量管可安全用于多种腐蚀性溶剂 流量管可现场更换(无需拨打服务电话) 兼容标
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2024-12-09 |
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CAST ALUMINUM 循环加热器PUR-X 2000系列 应用: 半导体晶圆清洗(湿式工作台)工艺 光刻胶去除溶剂的加热 用于晶圆冲洗的去离子水加热 用于晶圆干燥的空气和氮气加热 加热酸、IPA、Piranha、NMP 等。 与单程或再循环系统*起使用 特点与优势: 流路与加热元件无接触 介质在 PFA (Teflon) 流量管(高纯度加热)中隔离 允许安全加热危险液体和气体 流量管可安全用于多种腐蚀性溶剂 流量管可现场更换(无需拨打服务电话) 兼容标
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2024-12-09 |
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