材料
精选浮法玻璃
线膨胀系数: (α≈8.5×10 -6 /K)
投影:< 0.1 毫米
玻璃厚度刻度:2 ±0.2 mm
大玻璃长度:3 300 毫米
玻璃厚度扫描板:1±0.1mm
分配
铬溅射在玻璃上
刻度精度:≤ ±3 ?m/ 1000 mm
大节距:3 250 mm
扫描板分度精度:≤±1.5 ?m
可能的分期:
1 0 : 10 微米
20:20 微米