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晶圆清洗和漂洗（湿台系统）
流动闪点溶剂和酸的加热
与单程或再循环系统*起使用
与 PFA 管式加热器的用途相似，但温度限制更高
涉及爆炸性蒸气的过程
精确温度控制至关重要的情况
特点与优势：
流路与加热元件无接触
允许安全加热低闪点溶剂
加热介质隔离在无缝 316 不锈钢管中
溶剂管经过钝化和电抛光以确保纯度
自排放流量管消除了残留的碎屑
冷却管快速将热量降低到闪点以下
NEMA 7 防爆电气外壳
配备坚固的传感器和开关阵列